该项目的检测对象为4英寸硅晶圆，其放大之后的局部如下图所示。
| 部件 | 数量 | 规格 |
| 工业相机 | 1 | 300万像素，黑白 |
| 镜头 | 1 | 2.0x放大倍率远心镜头 |
| 光源 | 1 | 环形光源 |
| 软件 | 1 | Hawkvis机器视觉软件开发包SDK |
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