一、硅片检测模块介绍
1、独立式隐裂碎片检测模块，可选配踢料结构。
2、全定制光学系统，质量可靠，成像质量更佳。
3、软件支持一拖二双通道同时运行，在降低成本的同时提高生产效率。
4、采用落地式龙门架方式，节省安装空间，宽度最低只 需200mm空间。
5、适用于：硅片来料检测，链氧上料、背膜上料检测。
二、技术指标
三、软件界面
四、缺陷图例
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